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高分子薄膜电极制作
在PET、PI、PDMS和硅片上制作图形化金属电极,电极材料包括:金、银、铜、铝、等。线宽最小可达500nm。
图中是在PET材料上制作的环形电极,电极缝隙开口2μm,电极厚度120nm
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