基于介质上电润湿的液滴产生器的研究

摘　要： 根据介质上电润湿的基本原理，对用于数字微流控系统的“三明治”结构器件中影响液滴输运和产生的因素进行了理论分析，并研制出了一种新型液滴产生器原型：液体被夹在上下两个电极板之间；下极板采用硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵列上热氧化生长的的SiO2薄膜作为介质屋，上极板采用ITO透明导电玻璃板作为地电极；另外，在上下极板的表面都均匀旋转涂覆了一层30m厚的Teflon薄膜为表面疏水层．实验结果表明，在空气气氛中，该器件在10Hz70V的脉冲电压下成功地实现了从蓄水池中对去离子水滴的分发．