微流控对准键合机

 
设备参数:
外形尺寸:300×220×600mm
对准范围:50mm×50mm
移动台行程:X方向60mm
            Y方向60mm
            Z方向50mm
            R可旋转360度
设备包括
1600万高清彩色工业相机CCD
1080P高清10.1/15寸显示屏
15-120倍显微镜镜头
高精度丝杠二维移动平台
高精度旋转平台
可调蛇形LED光源
 
中鼎对准键合机具有精确对准,快速键合等功能。
设备采用透明玻璃吸盘,高清彩色工业相机倒置拍摄芯片,在对准芯片时能够做到上下同时观察,以实现快速对准芯片。使用高倍可调倍率镜头,根据需求调整倍数,在显示器上进行适当的放大,实现精确对准,快速键合。同时仪器还配备了高精度X-Y轴&旋转移动平台,使得键合芯片时能够更轻松实现芯片精确对准