本课题以平面型结构的微型无阀泵和集成微型无阀泵式微流控芯片为研究对象,研究了高刻蚀速率与...
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微流控系统广泛应用于生物医学和化学领域,如基因分析,药物研发,食品安全,环境监测,化学反...